과기정통부, DB하이텍 유휴장비 공공나노팹 이전…750억 지원

과학기술정보통신부는 DB하이텍의 8인치 파운드리 유휴장비를 공공나노팹에 무상 이전하고, 2026년부터 2033년까지 750억원을 투입해 장비 활용을 지원한다고 6일 밝혔다.

이전 대상 장비는 나노종합기술원과 나노융합기술원에 각각 구축된다. 두 기관은 장비를 핵심 공정 연구개발과 기술 실증 지원에 활용할 예정이다.

이번 이전은 2025년 3월 과기정통부와 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍이 맺은 모아팹 경쟁력 강화 업무협약의 후속 조치다. 과기정통부는 기업의 유휴장비를 공공 인프라로 연결하는 민관 협력 모델을 추진하고 있다.

공공나노팹은 인공지능, 첨단바이오, 양자 등 전략기술을 실증하는 기반 시설이지만, 산업 현장의 기술 발전 속도에 비해 노후 장비 비중이 높아 연구개발과 사업화 지원에 제약이 있었다고 과기정통부는 설명했다.

과기정통부는 전국 공공나노팹을 연계하는 모아팹 플랫폼을 통해 기업 장비의 이전과 활용을 지원한다. 올해부터 추진하는 중고장비 활용 지원사업은 장비 이전과 구축 비용을 지원해 참여 기관의 연구 인프라를 고도화하는 데 초점을 맞췄다.

나노종합기술원에는 8인치 고온 열처리 증착장비가 들어간다. 20년 넘은 장비를 교체해 작업 안전성을 높이고, 한 번 가동할 때 처리할 수 있는 물량도 25개에서 50개로 늘릴 것으로 기대된다.

나노융합기술원에는 8인치 건식 식각 및 표면 코팅 장비가 구축된다. 과기정통부는 초미세·초박막 센서 부품을 손상 없이 분리하는 데 활용돼 공정 단축과 부품 품질 향상에 도움이 될 것으로 봤다.

구혁채 과기정통부 제1차관은 DB하이텍 상우캠퍼스에서 열린 협약식에서 "DB하이텍의 선도적인 중고장비 이전은 민-관이 힘을 모아 반도체 생태계의 선순환 구조를 만들어낸 모범적인 상생 협력 모델"이라고 밝혔다.

과기정통부는 앞으로 모아팹 참여 공공나노팹을 확대해 연구시설과 전문인력을 산학연 연구개발, 기술 실증, 사업화 연계에 활용할 계획이다. 구 차관은 중고장비 활용 지원사업을 통해 공공나노팹 연구지원 인프라와 반도체·나노 기술 혁신, 전문인력 양성을 뒷받침하겠다고 말했다.